激光干涉儀和白光干涉儀雖然都同屬于干涉儀這個大類，但是兩者的區(qū)別可大了！下面泉田機電帶大家來看看兩者到底有什么區(qū)別。

      激光干涉儀

      激光干涉儀測量利用的是邁克爾遜干涉原理：

(1) 從SJ6000激光干涉儀主機出射的激光束（圓偏振光）通過分光鏡后，將分成兩束激光（線偏振光）；

(2) 兩束激光分別經由角錐反射鏡A和角錐反射鏡B反射后平行于出射光（紅色線條）返回，通過分光鏡后進行疊加，由于兩束激光頻率相同、振動方向相同且相位差恒定，即滿足干涉條件；

(3) 角錐反射鏡B每移動半個激光波長的距離，將會產生一次完整的明暗干涉現(xiàn)象。測量距離等于干涉條紋數(shù)乘以激光半波長。

根據(jù)激光干涉儀的原理，我們可以清楚知道，激光干涉儀是用來檢測設備的運動精度的，SJ6000激光干涉儀目前在機床、直線電機、滑臺、模組、自動化設備、機器人等領域應用。

      白光干涉儀

      白光干涉儀以白光干涉技術為原理，光源發(fā)出的光經過擴束準直后經分光棱鏡后分成兩束，一束經被測表面反射回來，另外一束光經參考鏡反射，兩束反射光最終匯聚并發(fā)生干涉，顯微鏡將被測表面的形貌特征轉化為干涉條紋信號，通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌。

      白光干涉儀是用來測量三維微觀形貌的。SuperView W1白光干涉儀可廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、國防軍工、科研院所等領域中?？蓽y各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等，提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國內外標準共計300余種2D、3D參數(shù)作為評價標準。

      以上就是泉田機電小編給大家分享的激光干涉儀和白光干涉儀的區(qū)別，上海泉田機電有限公司是一家集銷售精密測量儀器及售后服務于一體的專業(yè)服務商。公司成立于2012年，我們始終堅持秉承“技術先進、服務完善"的經營理念，以優(yōu)秀的技術人才為基礎，憑借豐富的測量經驗和雄厚的技術力量，結合國際上的先進技術，為您提供完整的測量解決方案、優(yōu)質的專業(yè)設備等綜合服務。歡迎新老客戶來電咨詢，聯(lián)系電話：021-67851559 ；021-67851589